高功率脉冲磁控溅射制备金属氮化物涂层

魏永强，顾艳阳，蒋志强

中国表面工程 ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (5) : 70-92.

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中国表面工程 ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (5) : 70-92. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20220117001

高功率脉冲磁控溅射制备金属氮化物涂层

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Application Research Progress of High Power Impulse Magnetron Sputtering in the Preparation of Metal Nitrides Coatings

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