HiPIMS的放电特性及其对薄膜结构和性能的调控*

李坤，高岗，杨磊，夏菲，孙春强，滕祥青，张宇民，朱嘉琦

中国表面工程 ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (5) : 42-55.

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中国表面工程 ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (5) : 42-55. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20220115002

HiPIMS的放电特性及其对薄膜结构和性能的调控*

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Discharge Characteristics of HiPIMS and Its Regulation on the Structure and Properties of Thin Films

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