双极高功率脉冲磁控溅射技术薄膜制备研究进展*

朱祥瑞，韩明月，冯蓬勃，孙玉强，李刘合

中国表面工程 ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (5) : 10-22.

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中国表面工程 ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (5) : 10-22. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20220114002

双极高功率脉冲磁控溅射技术薄膜制备研究进展*

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