高功率脉冲反应磁控溅射CrNx涂层的放电特性与组分结构

祁宇星，周广学，左潇，都宏，陈仁德，汪爱英

中国表面工程 ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (5) : 184-191.

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中国表面工程 ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (5) : 184-191. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20220104002

高功率脉冲反应磁控溅射CrNx涂层的放电特性与组分结构

    {{javascript:window.custom_author_cn_index=0;}}
  • {{article.zuoZhe_CN}}
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Plasma Discharge Characteristics and Microstructure of CrNx Coating Deposited by Reactive HiPIMS

    {{javascript:window.custom_author_en_index=0;}}
  • {{article.zuoZhe_EN}}
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{{article.keyPoints_cn}}

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{{article.keyPoints_en}}

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{{article.zhaiyao_cn}}

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{{article.zhaiyao_en}}

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{{article.zuoZheCn_L}}. {{article.title_cn}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_CN}}, 2022, 35(5): 184-191 https://doi.org/10.11933/j.issn.1007-9289.20220104002
{{article.zuoZheEn_L}}. {{article.title_en}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_EN}}, 2022, 35(5): 184-191 https://doi.org/10.11933/j.issn.1007-9289.20220104002
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{{article.reference}}

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{{article.copyrightStatement_cn}}
{{article.copyrightLicense_cn}}
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