高功率脉冲反应磁控溅射CrNx涂层的放电特性与组分结构

祁宇星，周广学，左潇，都宏，陈仁德，汪爱英

中国表面工程 ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (5) : 184-191.

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中国表面工程 ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (5) : 184-191. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20220104002

高功率脉冲反应磁控溅射CrNx涂层的放电特性与组分结构

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Plasma Discharge Characteristics and Microstructure of CrNx Coating Deposited by Reactive HiPIMS

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