脉冲频率对HiPIMS制备TiN薄膜组织和力学性能的影响

高海洋，张斌，魏殿忠，但敏，金凡亚

中国表面工程 ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (5) : 192-199.

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中国表面工程 ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (5) : 192-199. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20220103002

脉冲频率对HiPIMS制备TiN薄膜组织和力学性能的影响

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Effects of Pulse Frequency on the Microstructure and Mechanical Property of TiN Films Prepared by HiPIMS

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