HiPIMS沉积光电薄膜研究进展:放电特性和参数调控

doi:10.11933/j.issn.1007-9289.20211231004

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中国表面工程 ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (5) : 93-104. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20211231004

HiPIMS沉积光电薄膜研究进展:放电特性和参数调控

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Research Progress on Optoelectronic Thin Films Deposited by HiPIMS: Discharge Characteristics and Parameter Adjustment

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