高引燃脉冲新HiPIMS模式对TiN/CrN多层膜结构和性能的影响

高凯晨，巩春志，徐啸尘，田修波

中国表面工程 ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (5) : 145-154.

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中国表面工程 ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (5) : 145-154. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20211231002

高引燃脉冲新HiPIMS模式对TiN/CrN多层膜结构和性能的影响

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Effect of New HiPIMS Mode with High Ignition Pulse on Structure and Properties of TiN / CrN Multilayers

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