HiPIMS室温溅射晶态氧化铝薄膜的粒子能量调控

高方圆，许亿，李国栋，李光，夏原

中国表面工程 ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (5) : 246-253.

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中国表面工程 ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (5) : 246-253. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20211230004

HiPIMS室温溅射晶态氧化铝薄膜的粒子能量调控

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Particle Energy Regulation of Crystalline Alumina Films Sputtered at Room Temperature by HiPIMS

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