细长管内表面镀Cu过程中的空心阴极辉光电

高凯晨，刘仕远，巩春志，田修波

中国表面工程 ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (5) : 264-271.

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中国表面工程 ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (5) : 264-271. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20210929001

细长管内表面镀Cu过程中的空心阴极辉光电

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Glow Discharge of Hollow Cathode During Cu Plating on Thin Tube Surface

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