等离子-物理气相沉积(PS-PVD)的材料输运行为与沉积机理研究进展∗

doi:10.11933/j.issn.1007-9289.20210518004

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中国表面工程 ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (1) : 10-24. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20210518004

综述论文

等离子-物理气相沉积(PS-PVD)的材料输运行为与沉积机理研究进展∗

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Research Progress on Material Transportation Behavior and Deposition Mechanism of Plasma Spray-physical Vapor Deposition (PS-PVD)

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