磁控溅射法制备T型柔性薄膜热电偶*

熊智淳,张哲娟,凌彦萃

中国表面工程 ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (1) : 231-236.

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中国表面工程 ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (1) : 231-236. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20210416002
技术基础

磁控溅射法制备T型柔性薄膜热电偶*

    {{javascript:window.custom_author_cn_index=0;}}
  • {{article.zuoZhe_CN}}
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Preparation of T-type Flexible Thin Film Thermocouple by Magnetron Sputtering

    {{javascript:window.custom_author_en_index=0;}}
  • {{article.zuoZhe_EN}}
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{{article.zuoZheCn_L}}. {{article.title_cn}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_CN}}, 2022, 35(1): 231-236 https://doi.org/10.11933/j.issn.1007-9289.20210416002
{{article.zuoZheEn_L}}. {{article.title_en}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_EN}}, 2022, 35(1): 231-236 https://doi.org/10.11933/j.issn.1007-9289.20210416002
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{{article.reference}}

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