PS-PVD等离子射流特性的光谱诊断研究进展

张岩,邓畅光,毛杰,邓子谦,罗志伟

中国表面工程 ›› 2019, Vol. 32 ›› Issue (5) : 55-68.

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中国表面工程 ›› 2019, Vol. 32 ›› Issue (5) : 55-68. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20190315001
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PS-PVD等离子射流特性的光谱诊断研究进展

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Research Progress in Spectroscopic Diagnosis of Plasma Jet Characteristics Under PS-PVD

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