双弯管磁过滤阴极真空弧技术沉积超厚多层钛掺杂类金刚石膜

姜其立,王浩琦,周晗,庞盼,刘建武,廖斌

中国表面工程 ›› 2018, Vol. 31 ›› Issue (3) : 53-60.

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中国表面工程 ›› 2018, Vol. 31 ›› Issue (3) : 53-60. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20171201002
表面工程

双弯管磁过滤阴极真空弧技术沉积超厚多层钛掺杂类金刚石膜

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Ultra-thick Multilayer Ti-doped DLC Films Deposited By Double Bend-tube Magnetic Filter Cathode Vacuum Arc Technology

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