氧含量对高功率脉冲磁控溅射AlCrSiON涂层高温摩擦学性能的影响

唐鹏,黎海旭,吴正涛,代伟,王启民

中国表面工程 ›› 2018, Vol. 31 ›› Issue (3) : 77-85.

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中国表面工程 ›› 2018, Vol. 31 ›› Issue (3) : 77-85. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20171031001
表面工程

氧含量对高功率脉冲磁控溅射AlCrSiON涂层高温摩擦学性能的影响

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Effects of Oxygen Content on High-temperature Tribological Behaviors of AlCrSiON Coatings Deposited by High Power Impulse Magnetron Sputtering

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