基于X射线反射研究溅射工艺对CrAlN/TiAlN周期膜界面结构的影响

杜晓明,郑凯峰,王燕,李新喜,张罡,黄朝强

中国表面工程 ›› 2018, Vol. 31 ›› Issue (1) : 67-73.

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中国表面工程 ›› 2018, Vol. 31 ›› Issue (1) : 67-73. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20170822002
表面工程

基于X射线反射研究溅射工艺对CrAlN/TiAlN周期膜界面结构的影响

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Effects of Sputtering Process on Interfacial Structure of CrAlN/TiAlN Nano-scale Multilayer by X-ray Reflectometry

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