物理气相沉积技术制备类金刚石薄膜研究进展

doi:10.11933/CSE2026072

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中国表面工程 ›› 2026, Vol. 39 ›› Issue (3) : 20-49. DOI: 10.11933/CSE2026072

综述

物理气相沉积技术制备类金刚石薄膜研究进展

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Research Progress on Preparation of Diamond-like Carbon Films Using Physical Vapor Deposition

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ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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收稿日期	修回日期	接受日期	出版日期
2025-07-22	2025-10-26	2025-10-27	2026-06-23
发布日期
2026-06-25

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