织构化硅片表面的粘着行为
刘舒鹏, 王晓力, 司丽娜, 张玉言
Adhesive Properties of Textured Silicon Surfaces
LIU Shupeng, WANG Xiaoli, SI Lina, ZHANG Yuyan
中国表面工程 . 2015, (1): 83 -89 .  DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.2015.01.013