沉积气压对杂化离子镀TiCN薄膜结构和性能的影响
王宇，黄美东，李云珂，陈泽昊，张臣，杨明敏
Effects of Deposition Pressure on Structure and Properties of TiCN Films by Hybrid Ion Plating
WANG Yu, HUANG Meidong, LI Yunke, CHEN Zehao, ZHANG Chen, YANG Mingmin
中国表面工程
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2015, (5): 24
-29
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DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.2015.05.004
