线性离子束制备DLC薄膜的结构和性能

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

周陶，袁军堂，黄雷，汪振华

Structure and Properties of DLC Films Prepared by Linear Ion Source Technology

ZHOU Tao, YUAN Juntang, HUANG Lei, WANG Zhenhua

中国表面工程 . 2015, (6): 48 -54 . DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.2015.06.007

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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