磁控溅射沉积Al/AlN纳米多层膜的摩擦学性能

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

王云锋，张广安，吴志国

Tribological Properties of Al/AlN Multilayers Prepared by Magnetron Sputtering Technique

WANG Yunfeng, ZHANG Guangan, WU Zhiguo

中国表面工程 . 2016, (1): 58 -63 . DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.2016.01.009

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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