光纤阵列的超声椭圆振动辅助化学机械抛光

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

陈涛,刘德福,佘亦曦,严日明

Ultrasonic Elliptical Vibration Assisted Chemical Mechanical Polishing for Fiber Array

CHEN Tao, LIU De-fu, SHE Yi-xi and YAN Ri-ming

中国表面工程 . 2016, (3): 132 -138 . DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.2016.03.018

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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