NiCr和TiAl合金靶材阴极电弧弧斑的运动特性

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

左帅,王浩琦,陈淑年,庞盼,廖斌

Motion Characteristics of Cathodic Arc Spots of NiCr and TiAl Alloy Targets

ZUO Shuai, WANG Haoqi, CHEN Shunian, PANG Pan and LIAO Bin

中国表面工程 . 2019, (3): 59 -68 . DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20190228001

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

访问统计

总访问量
今日访问
在线人数