基于单元式菲涅尔光学原理的光刻纹理动态视效设计方法

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

许方威, 刘肖健, 尹子豪

Dynamic Visual Effect Design Method of Lithography Texture Based on Unit Fresnel Optical Principle

XU Fangwei, LIU Xiaojian, YIN Zihao

中国表面工程 . 2025, (2): 431 -441 . DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20240311001

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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