反应溅射动力学模型及应用的研究

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

朱圣龙王福会吴维（山文）

Reactive Sputtering Modeling and Its Applications

Zhu Shenglong, Wang Fuhui, Wu Weitao

中国表面工程 . 1998, (2): 19 -21 .

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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