磁过滤的阴极弧等离子体源及其薄膜制备

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

张涛,侯君达,刘志国,张一聪

Filtered Cathodic Arc Plasma Source and Thin Film Deposition

ZHANG Tao,HOU Jun-da,LIU Zhi-guo,ZHANG Yi-cong

中国表面工程 . 2002, (2): 11 -15 .

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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