硼膜多步骤注N的镀层结构研究

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

唐云,张平,谭俊,蔡志海

Study on Microstructureof Polyenergetic Nitrogen Ion Implanted Boron Film

TANG Yun,ZHANG Ping,TAN Jun,CAI Zhi-hai

中国表面工程 . 2002, (4): 25 -27 .

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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