用于全方位离子注入的10kV固体脉冲调制器研制

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

甘孔银,汤宝寅,王浪平,王小峰,王松雁,武洪臣

Research on The 10 kV Solid-state Pulse Modulator for Plasma Immersion ion Implantation

Tang Baoyin1,Gan Kongyin1,Wang Langpin1,Wang Xiaofeng1,Wang Shongyan1,Wu Hongcheng2

中国表面工程 . 2003, (4): 34 -38 .

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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