化学气相沉积金刚石薄膜的晶体缺陷和杂质

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

黄元盛罗承萍邱万奇

Crystal Defects and Impurities of CVD Diamond Films

HUANG Yuan-sheng 1,LOU Cheng-ping 2,QIU Wan-qi 2

中国表面工程 . 2004, (1): 5 -9 .

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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