窄脉冲保形全方位离子注入技术

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

汤宝寅王浪平曾照明王小峰甘孔银于永澔

Narrow Pulse Conformality All Directions Ion Implantation Technique

TANG Bao-yin,WANG Lang-ping,ZENG Zhao-ming,WANG Xiao-feng,GAN Kong-yin,YU Yong-hao

中国表面工程 . 2004, (1): 10 -15 .

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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