电弧离子镀TiN薄膜中的缺陷及其形成原因*

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

史新伟¹，邱万奇²，刘正义²

Defects in TiN Films Prepared by Arc Ion Plating and Their Formation Reasons

SHI Xin-wei¹，QIU Wan-qi²，LIU Zheng-yi²

中国表面工程 . 2006, (1): 43 -46 .

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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