金属离子高温注入原理与工艺研究*
雷明凯,李 朋,常海威,陈 涛
Principal and Technology of Metal Ion Implantation at Elevated Temperatures
LEI Ming-kai, LI Peng, CHANG Hai-wei, CHEN Tao
中国表面工程 . 2006, (2): 1 -5 .