非平衡磁控溅射结合电弧离子镀制备掺杂DLC硬质膜性能研究

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

于大洋¹，马胜歌²，张以忱¹，徐路²

The Properties of DLC Hard Film Prepared by Combining Unbalanced Magnetron Sputtering with Arc Plating

YU Da-yang¹ , MA Sheng-ge², ZHANG Yi-chen¹ , XU Lu²

中国表面工程 . 2006, (6): 43 -46 .

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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