磁控溅射类石墨镀层的微观组织观察与分析

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

尹清军,蒋百灵,陈迪春,张国君

The Microstructure and Analysis of Graphite-like Carbon Film Deposited by Unbalanced Magnetron Sputtering Technique

YIN Qing-jun,JIANG Bai-ling,CHEN Di-chun,ZHANG Guo-jun

中国表面工程 . 2007, (2): 42 -46 .

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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