常压下MOCVD法制备Al2O3薄膜工艺的研究

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

罗小秋,温吉利,刘炯,孙启凤

Study on the Preparation of Al2O3 Film by MOCVD Under Normal Atmosphere

LUO Xiao-qiu,WEN Ji-li,LIU Jiong,SUN Qi-feng

中国表面工程 . 2007, (3): 47 -50 .

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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