温度对化学气相沉积钨组织与表面形貌的影响

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

马捷,魏建忠,王从曾,范爱玲

The Effect of Temperature on Microstructure and Surface Topography of Tungsten Prepared via Chemical Vapor Deposition Approach

MA Jie, WEI Jian–zhong, WANG Cong–zeng, FAN Ai–ling

中国表面工程 . 2010, (1): 30 -33 .

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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