阴极电弧TiN膜层的观察检测和比较

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

董骐,田凯,胡中军,吴臻

Observation Test and Comparison of Cathodic-Arc TiN Film

DONG Qi, TIAN Kai, HU Zhong–jun, WU Zhen

中国表面工程 . 2010, (1): 63 -68 .

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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