溅射参数对CuInGa预制膜成分和结构的影响

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

李春雷,庄大明,张弓,宋军

Influences of Sputtering Parameters on the Composition and Microstructure of CuInGa Precursors

LI Chun-lei,ZHUANG Da-ming,ZHANG Gong,SONG Jun

中国表面工程 . 2010, (3): 25 -28 .

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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