直流反应磁控溅射CrNX功能装饰涂层的研究

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

张栋,孙丽丽,郑贺,汪爱英

Study of Magnetron Reactive Sputtering CrNX Decoration Films with Functional Protection

ZHANG Dong,SUN Li-li,ZHENG He,WANG Ai-ying

中国表面工程 . 2010, (3): 38 -41 .

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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