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主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基 院士
主 编：邵天敏 教授
创 刊：1988年
刊 期：双月刊
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磁控溅射MoSiCN硬质薄膜的制备与性能
吕鹏辉
1
，倪浩明
2
，崔 平
2
，陈建敏
3
，方前锋
4
Reactive Magnetic Sputtering MoSiCN Hard Film and Its Characterization
LV Peng–hui
1
, NI Hao–ming
2
, CUI Ping
2
, CHEN Jian–min
3
, FANG Qian–feng
4
中国表面工程 . 2010, (
3
): 95 -101 .
