离子束增强沉积Ti–Mo多层膜和TiMo合金膜及其性能

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

唐长斌1,2，刘道新1，李凡巧1，张卿1，张晓化1

TiMo Alloy Film and Ti–Mo Multilayer Films Prepared by Ion–beam Enhanced Deposition

TANG Chang–bin1,2, LIUDao–xin1, LI Fan–qiao1, ZHANG qing1, ZHANG Xiao–hua1

中国表面工程 . 2010, (4): 15 -21 .

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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