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HiPIMS电源的设计基础及研究进展
巩春志，吴厚朴，胡天时，田修波
Design Basis and Research Progress of HiPIMS Power Supply
GONG Chunzhi, WU Houpu, HU Tianshi, TIAN Xiubo
中国表面工程 . 2022, (5): 1 -9 .  DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20220228001

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