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主管单位:中国科学技术协会
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编委会主任:薛群基 院士
主 编:邵天敏 教授
创 刊:1988年
刊 期:双月刊
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HiPIMS电源的设计基础及研究进展
巩春志,吴厚朴,胡天时,田修波
Design Basis and Research Progress of HiPIMS Power Supply
GONG Chunzhi, WU Houpu, HU Tianshi, TIAN Xiubo
中国表面工程 . 2022, (
5
): 1 -9 . DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20220228001