磁控溅射CrNx薄膜的接触电阻及其耐腐蚀性能

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

谭俊a，邢汝鑫b，钱耀川b

The Contact Resistance and Corrosion Resistance of CrNx Film Deposited by Magnetron Sputtering

TAN Juna, XING Ru–xinb, QIAN Yao–chuanb

中国表面工程 . 2010, (6): 30 -33 .

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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