阴极电弧制备TiAlN薄膜工艺参数的正交分析研究

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

陈锋光，孙丽丽，成浩，柯培玲，汪爱英

Orthogonal Analysis on Deposition Parameters of TiAlN Thin Films by Cathodic Vacuum Arc Technique

CHEN Feng–guang, SUN Li–li,Cheng Hao,KE Pei–ling,WANG Ai–ying

中国表面工程 . 2011, (2): 41 -45 .

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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