离子渗氮用气对后续磁控溅射镀层性能的影响

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

王军勇，陈炳州，孙海林

Effect of Plasma Nitriding Gas on the Subsequent Magnetron Sputtered Coatings

WANG Jun-yong, Chen Bin-zhou, SUN Hai-lin

中国表面工程 . 2011, (3): 23 -27 .

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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