CVD钨沉积层组织控制

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

马捷，张永志，魏建忠，蒙丽娟

Control the Microstructure of Tungsten Layer Fabricated by Chemical Vapor Deposition

MA Jie, ZHANG Yong–zhi, WEI Jian–zhong, MENG Li–juan

中国表面工程 . 2011, (6): 24 -27 .

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

访问统计

总访问量
今日访问
在线人数