基体材料对TiN薄膜表面液滴及薄膜结合力的影响

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

龚才^1,2，代明江²，陈明安¹，韦春贝²，侯惠君²

Effects of Different Substrates on the Droplets and Adhesion Strength of TiN Films

GONG Cai^1,2, DAI Ming-jiang², CHEN Ming-an¹, WEI Chun-bei², HOU Hui-jun²

中国表面工程 . 2013, (1): 27 -33 .

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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