直流磁控溅射法在玻璃基片上制备TiN薄膜

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

王有欣¹，毛明旭¹，王英才¹，单玉桥²

Preparation of TiN Thin Films by DC Reactive Magnetron Sputtering

WANG You-xin¹, MAO Ming-xu¹, WANG Ying-cai¹, SHAN Yu-qiao²

中国表面工程 . 2013, (2): 61 -65 .

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

访问统计

总访问量
今日访问
在线人数