磁控溅射法制备ZrAlYN涂层的结构和性能

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

鲜广，赵海波，范洪远，王辉，杜昊

Structure and Properties of ZrAlYN Coating Deposited by Magnetron Sputtering

XIAN Guang, ZHAO Haibo, FAN Hongyuan, WANG Hui, DU Hao

中国表面工程 . 2013, (5): 12 -17 . DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2013.05.003

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

访问统计

总访问量
今日访问
在线人数