磁控溅射ZrAlCuN薄膜的微观组织与力学性能

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

杜军^a，杨班权^b，孟凡军^a

Microstructure and Mechanical Properties of ZrAlCuN Films Prepared by Magnetron Sputtering

DU Jun^a, YANG Banquan^b, MENG Fanjun^a

中国表面工程 . 2014, (5): 109 -114 . DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2014.05.014

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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