团簇离子束纳米加工技术研究进展

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

张早娣，李慧，王泽松，付德君

Progress in Clusters Ion Beam with Nanoscale Manufacturing Technology

ZHANG Zaodi, LI Hui, WANG Zesong, FU Dejun

中国表面工程 . 2014, (6): 28 -43 . DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.2014.06.003

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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